아트라스콥코, 국내 최초 반도체 유지보수 자동화 시스템 ‘스마트 PM 솔루션’
문정희 2018-10-22 18:47:24

 

산업용 공구 및 장비의 선두기업 아트라스콥코가 국내 최초로 반도체 장비 유지보수를 위한 스마트 PM 솔루션을 선보인다. 


반도체 제조업의 경우 고가의 반도체 장비로 14단계의 과정을 거쳐 완제품을 만들어내는 섬세한 공정 과정에 비해 유지 보수 작업은 작업자가 일반 툴을 이용해 수작업으로 진행된다. 다양한 작업자에 의해 불규칙하게 수행되는 볼트 조립 작업이나 올바르지 않게 사용된 저가의 PM 공구는 잦은 오류나 고장을 일으키는 원인으로 꼽힌다. 또, 작업자의 손목에 가해지는 피로도가 누적돼 조립의 정확성이 감소되어 결국 반도체 품질 저하와 반도체 장비의 사용연한 감소로 이어지게 된다. 


아트라스콥코의 스마트 PM 솔루션은 수작업으로 인한 생산성 저하를 막고 장비의 사용 연한을 극대화시키기 위해 개발된 자동 조립·계측 시스템이다. 정교하고 자동화된 공구는 물론, 작업자 가이드 시스템을 통한 정확한 위치 제어로 웨이퍼 품질 향상과 장비 고장률 감소도 기대할 수 있다. 스마트 PM 솔루션은 협동 로봇에 장비 위치 제어 시스템을 연동한 고정형과 이동 카트에 무선 전동 너트러너를 연계한 이동형이 있으며, 현장 상황에 맞게 최적의 솔루션을 선택할 수 있다. 
 

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