전 세계 반도체산업을 선도하는 장비 및 재료업체들이 참여하는 제30회 세미콘코리아가 2월8일부터 10일까지 서울코엑스에서 성황리에 개최됐다. 30회를 맞이한 본 전시회는 올해 역대 최대 규모인 1893개 부스로 개최가 됐다. 반도체산업의 전체 서플라이체인을 아우르는 장비 및 재료업체, 부품, 설계, 소프트웨어, 설비, 각종 분야의 500개 기업이 참여한 이번 전시회에는 4만 명 이상의 반도체 전문가와 엔지니어 및 관련업종의 참관객이 방문한 것으로 나타났다.

또, 전시회와 함께 다양한 심포지엄과 세미나, 포럼 및 컨퍼런스가 개최되어 전 세계 전문가들이 반도체의 현재와 미래를 조망했다. 3일 동안 100명 이상의 연사 발표가 있었다.

특히, 반도체 분야에 초점을 맞추고 사업을 전개하고 있는 내로라하는 자동화 기업들이 이번 전시회에 참가해, 신제품을 위주로 불꽃 튀는 홍보전을 전개했다. 글로벌 자동화 기업들은 지난해에 이어 스마트 팩토리나 Industry 4.0이라는 기술 트렌드에 맞춰, 이를 구현하게 해주는 제품 및 솔루션을 전시하면서, 참관객들에게 볼거리를 제공했다.주요 자동화 기업들의 전시 부스를 취재했다.

<기획·취재 최교식 기자 cks@engnews.co.kr>

반도체의 모든 테스트 과정에 적용되는 솔루션 선보여

한국NI 부스 전경

한국NI는 이번 전시기간 동안, 반도체 분야의 R&D 단계에 적용되는 간단한 테스트 측정장비부터 품질 및 양산단계의 테스트에 사용되는 테스트 측정장비 등, 반도체의 모든 테스트 과정에 적용되는 자사의 솔루션을 선보였다.

임베디드 장비 제어/모니터링 플랫폼 전시 패널에서는 고가의 반도체 장비가 고장 나기 전에 미리 예방보전할 수 있도록 스마트 머신 모니터링 및 장비상태 모니터링을 할 수 있는 자사의 CompactDAQ을 소개했다.

한국NI의 권순묵 대리는 “반도체 공정장비에는 유량계 및 온도센서, 펌프, 칠러 등 다양한 종류의 컴포넌트가 적용이 되는데, CompactDAQ은 이러한 다양한 컴포넌트의 데이터를 취합해서 서버로 올려주는 역할을 한다”고 설명했다.

올인원 계측기 NI VirtualBench 전시패널에서는 오실로스코프와 임의파형발생기, DMM, 파워서플라이, 디지털분석기 등의 5가지 계측기 기능을 하나로 통합해놓은 VirtualBench의 이점이 소개가 됐다. R&D 단계와 품질 단계에서 바로 사용할 수 있는 이 계측기는 랩뷰를 사용해서 테스트자동화를 구성할 수 있다.

다채널 오픈쇼트 테스트 전시패널에서는 8Site(104핀)/ 4Site(52핀)Open/Short 테스트를 할 수 있는 반도체 특성화 테스트 제품이 소개됐다. PXI SMU와 스위치로 구성되어 저항과 캐패시턴스를 측정하며, 수 초 이내에 전 채널에 대한 테스트가 가능하다. R&D부터 양산까지 적용 가능한 PXI 플랫폼.

PMIC(전력관리IC) 테스트가 소개됐는데, PMIC 테스트란 모바일의 경우 모바일 안에 들어가는 메인 PMIC가 인풋을 받아서 여러 군데로 파워를 제대로 보내주고 있는지 테스트 하는 장비다. 이 데모의 핵심은 새롭게 출시된 PXIe-6570.

권 대리는 “PXIe-6570은 ATE가 가진 모든 기능을 커버한다”고 말하고, “이 제품은 디지털 패턴 데이터를 제공하며, 이 디지털 패턴을 통해 각 채널에 대한 현재 상태나

제어상태를 알 수 있다”고 설명했다. “또 디버깅 상태까지 고려해서 제공한다”고 말하고, “현재는 32채널이지만, NI는 더 작고 채널수가 많은 제품으로 제품 포트폴리오를 가져가고 있다”고 밝혔다. RF PA(전력증폭기), RF 트랜시버, MCU, PMIC 등을 모두 커버하는 핵심제품이다.

이와 함께 RF 파워 앰프(ET/DDD) 테스트 데모가 소개됐다. 이 데모의 핵심은 벡터 시그널 애널라이저와 벡터 시그널 제너레이터, FAGA를 통합한 벡터 신호 트랜시버(VST)로서, NI에서는 최근 1GHz의 대역폭을 제공하는 2슬롯짜리 2세대 VST를 선보였다.

권 대리는 “2세대 VST가 1기가헤르츠의 대역폭을 제공하면서, 계측기 성능이 향상이 됐다”고 말하고, “실제 국내외 반도체 업체에서 NI의 VST를 다수 사용하고 있다”고 피력했다.

이번 전시에서 주력제품으로 소개된 반도체 양산 테스트 솔루션(STS)은 반도체 양산 환경에서 사용되는 테스트 솔루션으로, PXI 베이스로 개발되어 개발단계와 동일하게 양산단계에서 사용할 수 있다는 것이 특징.

권 대리는 “R&D나 품질에서 사용되는 계측기와 양산에서 쓰이는 계측기가 안 맞아서 맞추는 과정이 필요한데, 이로 인해 제품 출시시간이 길어지게 된다”고 말하고, “그러나 NI의 STS는 PXI 베이스이기 때문에 개발단계와 양산단계에서 동일하게 사용할 수 있다”고 강조했다.

이 STS는 기존의 대형 ATE보다 작은 작업 공간에서 사용 가능하며, 전력 소모량과 유지보수 노력을 줄여준다. 또한 고성능 테스트가 가능하기 때문에 보다 복잡한 기능이 요구되는 RF 파워 앰프(RF Power Amplifier), 전력 관리 IC(PMIC)와 같은 RF/아날로그 중심 반도체의 RF 및 혼합 신호 테스트에 적합하다.

이와 함께 IoT 디바이스의 다양한 무선 통신 규격을 동시에 테스트할 수 있는 WTS(Wireless Test System)가 소개됐다.

WTS는 와이파이나 블루투스, 지그비, 로라와 같은 멀티 DUT를 지원하는 멀티 커넥티비티 품질 테스트 기기로서, 무선 커넥티비티 품질 테스트 및 여러 개를 동시에 테스트해야 하는 경우에 사용된다. 한국NI는 현재, 범감이라는 WTS 국내 파트너사와 함께 각각의 DUT 모드를 설정하는 DUT 컨트롤과 관련해 협업을 하고 있다.

권 대리는 “NI에서는 새롭게 출시되는 다양한 무선표준을 소프트웨어적으로 추가하고 있다”고 말하고, 와이어리스를 테스트하기 위한 지그비나 801.11ax, 5G 등에 대한 지원도 같은 맥락이라고 설명했다. 이외에도 랩뷰(LabVIEW) 기반의 레고 마인드 스톰 및 EV3가 전시됐다.

한국NI 부스 전경

다채널 전력관리 IC 테스트

반도체 전공정 장비에 적용되는 임베디드 장비 제어 및 모니터링 플랫폼

한국NI 권순묵 대리는 “SEMICON Korea 2017에서는 랩뷰(LabVIEW)와 PXI 기반의 모듈형 계측기를 이용하여 R&D부터 양산까지 모든 테스트 과정에 동일하게 적용 가능한 테스트 자동화 솔루션을 선보이고 있다”고 설명했다.

레고 마인드 스톰

반도체 분야에 사용되는 다양한 테스트 측정기 데모

반도체 양산 테스트 솔루션(STS)

RF파워앰프(ET/DPD) 테스트