새롭게 구성된 컨소시엄은 유럽 반도체 산업의 생태 발자국을 최소화하는 것을 목표로 하는 Project GENESIS에 58개 파트너를 통합한다.

반도체제조공급망 을 위한 지속 가능한 프로세스 및 기술 개발에 전념하는 범유럽 컨소시엄이 GENESIS프로젝트 의 출범을 발표했다.

이 대규모 통합 이니셔티브는 유럽의 칩 산업이 재료 개발에서 최종 폐기물 처리에 이르기까지 지속 가능성 목표를 달성할 수 있도록 하는 것을 목표로 한다.

Fraunhofer IPMS는 화학 폐기물을 최소화하고 배출량을 줄이기 위해 중앙 작업 패키지 중 하나를 관리하는 역할을 수행한다.

CEA-Leti가 주관하는 이 3개년 프로젝트에는 대기업 및 중소기업에서 연구 기관, 대학 및 산업 협회에 이르기까지 전체 유럽 반도체 가치 사슬에 걸쳐 있는 58개 파트너가 참여한다.

제네시스는 유럽 그린 딜(European Green Deal) 및 유럽 칩법(European Chips Act)에 직접적으로 부합하는 배출 가스 제어, PFAS 기반 소재에 대한 대안과 같은 친환경 재료, 폐기물 최소화 및 원료 재사용 분야에서 혁신적인 솔루션을 추진하게 된다.

CEA-Leti의 지속 가능한 전자 프로그램 책임자인 Laurent Pain은 “GENESIS는 진정으로 지속 가능한 반도체 생태계를 구축하기 위한 복잡한 문제를 해결하도록 설계되었습니다. 그 구조는 유럽의 녹색 전환의 시급성과 기회를 모두 반영하며, 파트너의 보완적인 전문 지식과 긴밀한 협력에 힘입어집니다”라고 말했다.

화학물질 폐기물 최소화 및 배출량 감축 프라운호퍼 IPMS는 화학물질 폐기물을 최소화하고 배출량을 줄이기 위한 핵심 작업 패키지 중 하나를 관리하는 역할을 맡고 있다.

또한, 본 연구소는 반도체 생산에 사용되는 유해물질 및 물질의 대체에 대해서도 연구하고 있다. 여기서 초점은 BOSCH 공정에서 PFAS(과불화 및 폴리불화 알킬 물질) 및 기후에 해를 끼치는 가스에 대한 대안에 있다.

각 프로젝트 섹션에서는 개선된 특정 재활용 기술을 검토하고, 저감 효율성을 분석하고, 새로운 시스템을 개발하기도 한다.

프라운호퍼 IPMS의 과학 프로젝트 리더인 에릭 슈만(Erik Schumann) 박사는 “자원에 대한 신중한 사용은 제네시스 프로젝트 노력의 핵심이 될 것입니다. 우리는 SF6 또는 NF3와 같은 기후에 해를 끼치는 가스의 배출을 대체하고 줄이는 데 집중하고 있습니다. 이러한 가스는 CO2보다 10,000배 더 유해하지만 반도체 산업에 필요합니다. 우리는 또한 화학적 기계적 연마 과정에서 발생하는 폐기물을 줄이기 위해 노력하고 있습니다”라고 말했다.

45가지 지속가능성 목표

이 프로젝트의 관리자인 로랑 페인(Laurent Pain)은 친환경 유럽 반도체 산업에 대한 제네시스 비전의 기술적 기반을 형성하는 4가지 전략적 기둥에 따라 반도체 라이프사이클을 포괄하는 약 45개의 지속 가능성 중심의 혁신을 제공할 것으로 기대한다고 말한다.

기둥 1 – 모니터링 및 감지: 실시간 배출 추적, 추적성 및 프로세스 피드백 시스템

기둥 2 – 신소재: 첨단 반도체 공정을 위한 PFAS가 없는 화학 물질 및 낮은 GWP 대안

기둥 3 – 폐기물 최소화: 재활용(솔벤트, 가스, 슬러리), 재사용 및 지속 가능한 대체품의 혁신

기본 원칙 4 – 중요 원자재 완화: CRM에 대한 의존도를 줄이고 자원 보안을 강화하기 위한 전략.

이러한 핵심 요소를 보완하는 이 프로젝트의 목표는 PFAS 및 GHG 배출량을 줄이기 위해 센서 통합 저감 시스템을 구축하는 것을 포함하는 전반적인 프레임워크를 수립한다.

또한 공급망 관행을 환경 규제에 맞춰 조정함으로써 유럽을 친환경 반도체 혁신의 리더로 자리매김하는 것을 목표로 한다

칩 어젠다

EU, 회원국 및 민간 부문 간의 협력을 촉진하여 유럽의 반도체 산업을 강화하기 위해 설립된 공공-민간 파트너십인 Chips Joint Undertaking(Chips JU)의 프로그램 책임자인 Anton Chichkov는 “GENESIS 프로젝트의 출범은 유럽의 반도체 야망을 기후 약속과 일치시키는 데 있어 중요한 단계를 의미합니다. 칩이 AI에서 에너지 시스템에 이르기까지 모든 것의 중추 역할을 함에 따라 칩이 환경에 미치는 영향이 빠르게 증가하고 있습니다”라고 말했다.

또, “GENESIS는 재료, 폐기물 감소 및 자원 효율성에서 지속 가능한 대안을 개척함으로써 이 시급한 과제에 대응하고 있습니다. 이 이니셔티브를 통해 유럽은 청정 기술에 투자할 뿐만 아니라 친환경 반도체 제조 분야의 글로벌 리더로 자리매김하고 있습니다”라고 덧붙였다.

5,500만 유로에 가까운 예산이 투입된 GENESIS 프로젝트는 유럽연합 집행위원회(European Commission), 참여 EU 회원국 및 스위스 교육연구혁신사무국(Swiss State Secretariat for Education, Research and Innovation, SERI)의 Chips Joint Undertaking을 통해 공동 자금을 지원받는다.