2015년까지 반도체장비 국산화율 50% 달성을 목표로 하는 정부 계획을 체계적으로 지원하기 위하여 산업자원부 기술표준원(원장 최갑홍)은 국산개발 신기술 장비인 원자층증착장비(ALD) 성능평가 방법 등 35종의 표준 개발을 목표로 하는 「반도체장비 표준화 5개년 계획」을 수립하여 발표함 * 원자층증착장비(ALD : Atomic Layer Deposition) : 나노급 기술을 적용한 차세대 증착방법으로 웨이퍼 표면에서 원료의 흡착 및 반응을 통해 원자층 두께 정도의 박막을 형성하는 장비이며 국내에서는 주성엔지니어링(주), (주)아피에스 등에서 생산함 우리의 반도체 산업은 세계적인 경쟁력을 갖고 있으나 정작 반도체를 만드는 장비는 18%만이 국내에서 생산·공급될 정도로 산업기반이 취약한 실정이어서 이를 해결하기 위한 대책 마련이 시급한 상황임 우리나라는 대부분의 장비를 일본과 미국에서 수입하여 사용하고 있으며, 부품 및 장비의 신뢰성·성능을 평가하기위한 표준 인프라도 미흡하여 국내의 장비업체들이 제품을 개발하여도 국내외 수요 기업의 구매로 연결시키기에는 어려움이 많음 <사례> ‘05년도에 K사는 포토 레지스트 도포장치(Coater)를 개발 완료하였으나 공인된 성능평가 방법의 부재로 수요 대기업에 납품하기 위한 신뢰를 확보하는데 애로를 겪은 바 있음 정부 차원에서는 국산화 촉진이 필요한 국산개발 부품 및 장비의 성능평가 방법, 작업자의 안전을 위한 장비 안전설계 지침 등의 분야에 집중하여 표준화를 추진하기로 하고 민간부분의 표준화 역량을 강화하기 위해 반도체산업의 특성상 기술의 전개가 빠른 분야에 대해서는 표준화포럼을 구성·운영 하도록 하여 사실상 국제표준인 SEMI표준 체계에 대응토록 유도해 나갈 예정임 ※ SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International, 세계 반도체장비 재료협회) : 세계 반도체장비·재료산업 및 평판디스플레이(FPD)산업을 대표하는 국제 협회 기술표준원측은 앞으로 민·관 공동으로 체계적인 표준화 활동을 통해 반도체장비 업체의 개발비용 감소 및 개발기간을 단축시켜 후발업체들의 시장진입을 용이하게 함으로써 2015년까지 세계 2위의 반도체 강국 건설에 크게 기여토록 할 예정이며, 이를 위해 조속히 반도체장비관련 산업계, 대학 및 시험·연구기관 간의 표준개발 협력체계를 구축하고 기술용어 표준화를 시발로 기능적 모듈 간 인터페이스 표준화 등을 내실있게 추진할 계획임 언론문의처 : 기계건설표준팀 김익수 팀장, 박재훈 연구관 02-509-7293 출처 : 산업자원부 홈페이지 : http://www.mocie.go.kr