반도체, 디스플레이 장비·재료 분야 차세대 기술개발을 위한 대형 R&D 인프라인 광주 나노기술집적센터(이하 나노센터)가 포항센터에 이어 서비스를 시작한다. 산업자원부가 광주·포항·전북 등 3곳에 구축중인 나노센터는 반도체, 디스플레이 장비·재료의 ①차세대 신기술 개발 → ②상용화 → ③성능평가·표준화를 패키지로 지원하는 핵심 나노기술 인프라 역할을 담당하게 된다. < 나노기술집적센터 개요 > ◈ 센터현황 : 광주(한국생산기술연구원), 포항(포스텍), 전북(전자부품연구원) ◈ 특화분야 : 광주·전북(장비·공정), 포항(소재·재료) ◈ 구축기간 : 2004년 - 2008년 (5년간) ◈ 총사업비 : 2,648억원 (정부 900억원, 민간 1,748억원) 금번에 개소하는 광주센터는 반도체·디스플레이 분야에 필요한 나노 장비 및 공정을 연구개발부터 산업화 지원까지 가능한 핵심연구기반이 될 전망이다. 특히, 반도체·디스플레이 관련 나노 박막/확산 공정기술 및 장비개발에 주력하여 2015년 장비분야 국산화율 50% 달성에 크게 기여 하게 된다. ※ 국산화율 : 반도체장비 20%, 재료 40%, 디스플레이 장비 36%, 재료 50% 아울러 나노센터는 장비·재료기업에서 개발한 차세대 원천기술의 상용화를 지원하게 된다. 특히, 금년 9월부터 시작되는 ‘장비·재료 원천기술 상용화 사업’과 연계하여 향후 나노센터는 신기술 상용화의 핵심 연구인프라가 될 것으로 기대된다. 우선적으로 광주센터는 2개 장비제조기업과 공동으로 차세대 태양전지 제작을 위한 증착장비인 CVD 장비개발과 광부품 제작을 위한 BPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)용 CVD 공정 개발을 추진할 계획이다. * CVD (Chemical Vapor Deposition) : 반도체/디스플레이 소자 제조공정에서 기판 위에 산화막, 질화막 등의 박막을 형성하는 장비 * BPSG (Boron Phosphorus Silicate Glass) : 산화막에 붕소나 인을 첨가하여 저온에서 평탄화가 가능한 박막물질로 얇은 접합이 요구되는 고집적 소자의 공정에 이용 또한 나노센터는 국산 장비·재료에 대한 기초 성능평가 ·인증, 중장기적으로 표준화 사업을 추진한다. 지난해 산업자원부와 반도체·디스플레이 업계간 상생협약(06.11) 이후 시행하고 있는 ‘성능 평가팹’ 사업 확대시 중요한 평가·인증 기반이 될 전망이다. * 평가팹 : 일괄 생산 공정을 구축, 평가대상 중소업체 제조장비와 旣구축 대기업 장비와 생산수율, 신뢰성 등을 비교·평가하기 위해 구축된 시스템(현재 반도체 33개 장비·재료, LCD 5개 장비에 대한 평가 진행 중) 한편, 광주센터는 지난해 반도체·디스플레이 업계가 합의한 3대 상생과제(원천기술상용화사업, 평가팹, 수급기업펀드), 그리고 금년에 새로 시작한 디스플레이 분야 대기업간 협력을 기술적으로 실현할 ‘R&D 분야 상생협력의 場’이 될 것으로 기대된다. 특히 최첨단 장비와 고급 기술인력을 바탕으로 차세대 신기술 개발을 위해 대기업과 중소 장비·재료기업이 참여하는 ‘공동 R&D’의 핵심적 연구거점이 될 것으로 전망된다. 9.4일 산업자원부와 한국생산기술연구원은 김용근 산업자원부 산업정책본부장, 소자·장비업계 CEO, 박광태 광주광역시장, 이호일 산업기술연구회 이사장 등 주요 관계인사 200여명이 참석한 가운데 ‘광주 나노기술집적센터 개소식’을 개최하였다. 김용근 산업정책본부장은 개소식 축사에서 국가 성장동력인 반도체·디스플레이산업의 지속적인 경쟁력 확보를 위해 ‘차세대 장비·재료의 원천기술 개발 및 국산화가 최선의 대안’임을 강조하며, ‘나노센터가 R&D 상생의 주역’이 되길 당부했다. 한편 광주센터 개소식과 병행하여 차세대 디스플레이 전략기술 및 상생협력 방안을 모색하기 위해 대기업, 장비업계, 학계 등이 참여하는 차세대 디스플레이 포럼을 개최했다. 동 포럼에는 삼성SDI, LG전자 등의 대기업, ANS, DMS 등 장비업체, 순천향대, 조선대 등 대학과 디스플레이 분야 소자 및 부품소재 관련 기업 및 연구기관 등이 참석하여, 장비개발 지원을 위한 나노센터의 역할 및 대기업과 장비제조업계의 상생협력 방안을 제시하였고, 디스플레이 분야의 강국으로 거듭나기 위한 방향을 모색하여 디스플레이산업발전의 소중한 밑거름이 되는 토론의 장이 되었다 언론문의처 : 산업자원부 반도체디스플레이팀 차동형 팀장, 이승연 사무관 2110-5685 출처 : 산업자원부 홈페이지 : http://www.mocie.go.kr