반도체 및 LCD 장비용 핵심부품 업체인 단성일렉트론(대표 이현규)은 LCD 패널 공정 핵심부품인 서셉터(Susceptor) 관련 신규 특허를 취득했다고 23일 밝혔다. 서셉터는 LCD 패널 전공정 장비인 화학기상증착장비(CVD)의 핵심부품으로 일정 기간이 지나면 재생이나 교체가 필요한 소모성 제품이다. 본 특허는 서셉터 내부의 히터 매설 및 냉각로 형성에 관한 것으로 대형화 되어가는 LCD패널의 사이즈에 대응하여 품질 및 신뢰도 향상에 기여할 것으로 예상하고 있다. 단성일렉트론 관계자는 “지속적인 연구개발을 통해 LCD 장비용 핵심부품 관련 특허를 늘려가고 있다”며 “패널 대형화에 발맞추어 이에 대응하는 신뢰성 높은 부품들을 생산하여 패널업체들의 원가절감에 기여할 것”이라고 말했다. 출처 : 단성일렉트론