(사진. ACM)

반도체 및 첨단 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 애플리케이션을 위한 웨이퍼 처리 솔루션 전문 기업인 ACM 리서치(ACMR)가 새 Ultra Track 장비를 출시하면서 코터·디벨로퍼(Coater·Developer)인 트랙(Track) 시장에 진출한다.

ACM은 세정, 코팅 및 개발 시스템에 대한 전문 지식과 기술력을 바탕으로 이 새로운 장비 분야에 진출하게 됐다. ACM은 2013년에 회사의 첫 번째 캡슐화 코팅 장비 및 현상 장비를 개발해 2014년에 고객에게 인도한 바 있다. ACM은 앞으로 몇 주 안에 중국 내 고객에게 자사 최초의 ArF 공정 코터·디벨로퍼 트랙 장비를 납품하고, 2023년에는 i-line 모델 장비를 출시할 예정이다. ACM은 KrF 모델 장비에 대한 연구 개발에도 착수했다.

ACM의 데이비드 왕(David Wang) CEO는 “ACM이 트랙 시장에 진출했다는 소식을 전하게 돼 영광이다. 트랙 시장은 우리에게 또 다른 주요 신제품 범주가 될 것이다. 가트너(Gartner) 데이터에 따르면, 전 세계 트랙 시장은 2022년에 37억 달러에 달할 전망이다.

이는 ACM에게 엄청난 기회를 의미한다”라며 “소프트웨어 및 로봇 기술에 대한 ACM의 핵심 경쟁력과 ACM의 검증된 코터·디벨로퍼 장비 성능 및 독창적인 새로운 아키텍처가 결합된 덕분에 우리는 경쟁력 있는 제품 및 서비스로 트랙 시장에 성공적으로 진출할 수 있었다”라고 말했다.

이어 그는 “이번 신제품 출시는 현재와 미래의 프런트엔드 리소그래피 공정을 지원하기 위한 첫 번째 관문으로 기록될 것이다. 많은 글로벌 로직 및 메모리 반도체 제조 회사들이 2차 공급 협력사를 찾고 있는 점을 고려할 때 이 신제품에 대한 잠재 수요는 클 것이라고 예상한다”라고 덧붙였다.