에칭(Etching)은 반도체 생산 공정 중 웨이퍼 표면의 불필요한 박막을 제거하는 과정으로 매우 중요한 과정이며 모든 와이퍼는 완성되기까지 여러 번의 에칭을 거쳐야 한다.
반도체 장비와 임베디드 모션 컨트롤
자료제공│어드밴텍아이앤씨(주)
에칭(Etching)은 반도체 생산 공정 중 웨이퍼 표면의 불필요한 박막을 제거하는 과정으로 매우 중요한 과정이며 모든 와이퍼는 완성되기까지 여러 번의 에칭(Etching)을 거쳐야 한다. 이번 어플리케이션 스토리의 고객은 전세계적으로 유명한 CVD와 에칭(Etching) 장비 제조사 중 하나로 경쟁력 향상을 위해 PC기반의 기술에 많은 투자를 하고 있다. 그들은 기계장비와 일렉트로닉 컨트롤 서킷의 규격의 축소를 원했는데 이것은 매우 중요하면서도 어려운 문제였다.
시스템 요구사항
고객은 아래의 요구 사항을 만족하는 SDCVD(Space divided CVD-ALD)와 드라이 에칭(Etching) 장비를 위한 새로운 특별한 기능을 갖춘 컨트롤러를 디자인하기를 원했다.
- 장비 규격의 축소
- 모션 컨트롤과 디지털 I/O 인터페이스의 통합
- 모든 제품 정보의 MES와 CIM 시스템으로의 통합
프로젝트 실행
- PCM-3370
인텔 펜티엄III PC/104-플러스 CPU 모듈 - PCM-3240
4축 PC/104 모션 컨트롤 모듈 - PCM-3618
8포트 RS-422/485 고속 통신 모듈
시스템 설명
이 솔루션에서 PCM-3370은 PCM-3240 모듈을 컨트롤하고 PCM-3240은 와이퍼를 컨트롤하며 PCM-3618은 시리얼 디바이스와 통신한다. PC-104 폼 팩터는 기계 자동화 어플리케이션에 적합하다. 장비의 규격 축소와 CPU와 I/O 모듈 사이의 ‘핀 소켓’은 진동을 줄여준다.
어드밴텍의 ‘DiagAnywhere’ 유틸리티를 이용해, 원격 진단 기능을 쉽게 실행하여 작업 감독관은 원격에서 모니터하고 작동할 수 있으며 중앙으로부터 작업 기록을 다운로드 하거나 업로드 할 수 있다.
결론
이 새로운 컨트롤러는 기존 IPC 섀시와 비교하여 50% 정도의 공간 절약을 실현하였으며 배선 통합과 테스트에 필요한 시간과 노력을 약 25% 단축 시켰으며 CVD와 에칭 장비에 적용하는데 약37% 정도의 비용을 절감하였다.
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전통적인 산업용 에어컨디셔닝 컨트롤 시스템은 오직 단순한 텍스트 메시지를 보여주거나 냉방 작동을 위한 버튼을 제공하는데 그쳤다. 그러나 최근에 많은 산업 현장에서 에너지 절약과 성능 관리에 높은 관심을 갖기 시작했으며 이로 인해 복합빌딩 관리 시스템과 그에 따른 HMI 컨트롤 도입에 대한 검토가 활발해졌다.
시스템 설명
온도 센서, 압력 센서 그리고 써머커플 모두 PLC로 신호를 보내며 TPC-30T는 RS-232에 의해 PCL에 연결되어 HMI인터페이스의 GUI(그래픽 유저 인터페이스)를 사용해 컨트롤 프로세서를 보여준다. 서비스 엔지니어는 향후 관리를 위한 작동 일정뿐만 아니라 시스템을 안전하게 관리할 수 있도록 알람 메시지 리스트도 체크할 수 있다.
결론
WinCE 5.0이 지원되는 TPC-30T는 다양한 형태의 빌딩 관리 시스템에 매우 적합하다. 위와 같이 엔지니어는 관리에서부터 향후의 운영 스케쥴까지 에어컨디셔닝의 전반적인 컨트롤 시스템을 쉽게 모니터하고 관리할 수 있어 매우 효율적인 관리가 가능하다. 담당자는 업무 중에 모든 운영 관련 정보를 다운로드 할 수 있으며 파워풀한 컴퓨팅, 통신, 컨트롤 그리고 디스플레이 등 여러 면에서 사용자를 고려하여 편리하게 디자인되었음을 알 수 있다.
시스템 다이어그램
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