세계 최고 수준의 성능을 가진 슈퍼 전자현미경이 정부출연연구소에 설치되어 가동된다.

한국과학기술연구원(KIST, 원장 금동화)은 7일 하월곡동 본원에서 슈퍼 전자현미경 가동식 및 심포지움을 개최한다고 밝혔다.

이 장비는 단색 전자빔을 사용함으로써 나노 영역에서의 밴드갭 측정이 가능해 기존 국내 최고수준의 전자현미경에서 0.7eV 미만이었던 에너지 분해능이 0.15eV 미만으로, 2Å 미만이었던 영상 분해능이 0.9Å 미만으로 향상되어 원자의 실제 이미지를 보다 정확하게 볼 수 있게 해준다.

아울러 국내 최초로 나노스케일의 전자소자의 전기적 특성 평가를 할 수 있는 나노프로브가 장착된 집속이온빔 장치도 함께 설치, 가동되어 차세대 반도체를 비롯한 나노기술 분야의 연구자들에게 세계 최고 수준의 분석을 종합적으로 지원할 수 있게 된다.

이들 장비는 지식경제부 “차세대반도체분석종합지원사업”의 수행을 통해 구축되었으며, KIST는 이 외에도 국내 거대과학 시설인 포항방사광 가속기 전용 빔라인 2기, 1GHz NMR 및 연구용 원자로 하나로에 냉중성자 빔라인 등 대형 연구 시설을 갖추어 나노, 바이오, 재료 분야 및 융복합 연구를 위한 분석을 모두 수행할 수 있는 국가 분석 클러스터로서의 위상을 공고히 할 것으로 기대된다.