도시바가 300㎜ 웨이퍼 제조 시설 건설로 전력 반도체 생산 능력을 확대한다(사진. 도시바).

도시바 일렉트로닉 디바이스 앤 스토리지 코퍼레이션(이하 도시바)이 이시카와현에 있는 주요 이산 반도체 생산기지인 가가 도시바 일렉트로닉 코퍼레이션(Kaga Toshiba Electronics Corporation)에 전력 반도체용 300㎜ 웨이퍼 제조 시설을 새로 건설한다고 4일(금) 발표했다.

건설은 두 단계로 진행되는데 투자 속도가 시장 동향에 최대한 맞출 수 있도록 2024년에 1단계 생산에 착수할 예정이다. 1단계가 전면 가동되면 도시바의 전력 반도체 생산 능력은 2021년에 비해 2.5배 증가한다.

전력 소자는 모든 전자 장비에서 소비 전력을 관리하고 줄이고 탄소 중립 사회를 달성하는데 필요한 부품이다. 현재의 수요는 저전압 MOSFET(금속산화물 반도체 전계효과 트랜지스터)과 IGBT(절연 게이트 양극 트랜지스터) 및 기타 장치에 대한 탄탄한 수요와 더불어 차량 전기화 및 산업용 기계 자동화로 확대되고 있다. 도시바는 200㎜ 라인의 생산 능력을 늘리고 300㎜ 생산 라인 가동을 2023년 상반기에서 2022년 하반기로 앞당겨 이런 수요 증가에 대처했다. 새로운 팹(fab)의 전체 생산용량 및 장비 투자, 생산 개시, 생산 능력 및 생산 계획에 관한 결정은 시장 동향을 반영한다.

신설 팹은 내지진 구조로 지어지는 데 이중 전원공급선을 포함해 강화된 BCP 시스템, 환경 부담을 줄이기 위한 최신 에너지 절감 제조 설비 등을 갖추게 된다. 또 100% 재생에너지에 의존하는 RE100 달성을 목표로 하고 인공지능 및 자동 웨이퍼 이송 시스템을 도입해 제품 품질과 생산 효율성을 개선한다.

도시바 관계자는 “앞으로 전력 반도체 사업을 확대하는 한편 빠르게 늘어나는 수요에 대응하고 저에너지 사회와 탄소 중립에 기여할 수 있도록 시기적절한 투자와 연구·개발을 통해 경쟁력을 높일 것”이라고 밝혔다.