서플러스글로벌 R&D Foundry 버퍼룸(Buffer room) 모습(사진. 서플러스글로벌)

지난해 2066억 원의 매출액을 기록한 반도체 중고장비 플랫폼 기업인 서플러스글로벌이 신사옥 R&D Foundry 클린룸에서 300mm 테스트 웨이퍼를 첫 출하 했다고 20일 밝혔다.

서플러스글로벌의 R&D Foundry 신사업을 이끌고 있는 최준영 상무는 “2년간 사업을 준비해서 서플러스글로벌이 생산한 첫 번째 300mm 웨이퍼가 출하됐다”며 “이번에 생산된 300mm PE TEOS 웨이퍼는 CMP 소재, 장비 성능 평가를 위한 테스트 웨이퍼로 반도체 양산 공정에 활용된 장비로 생산하고 계측해 생산성과 품질을 확보하는 데 강점이 있다.

앞으로 자체 생산라인에서 열 산화물 테스트 웨이퍼 등을 생산해 공급 범위를 넓혀 나갈 계획으로, 해외 기업들과 협력해 국내 반도체 연구소를 대상으로 보다 다양한 고품질의 테스트 웨이퍼를 적기에 공급할 예정”이라고 말했다.

더불어 “동시에 패턴이 없는 박막 상태의 웨이퍼로 전기적 특성 분석 서비스를 제공해 반도체 소부장 기업은 물론이고 소자기업들에게 저비용으로 빠르고 정확한 선행 성능 평가 결과를 제공할 수 있을 것으로 기대한다”라고 덧붙였다.

서플러스글로벌은 반도체 관련 인력, 장비, 시설을 공유할 수 있는 반도체 장비 클러스터를 2021년 7월에 설립하고, 클러스터 안에서 R&D Foundry 서비스를 제공하고자 192평 규모의 클린룸을 설치하고 이번 달부터 가동을 시작했다.

서플러스글로벌 김정웅 대표는 “품질 검증된 테스트 웨이퍼 제공과 패턴이 필요 없는 전기적 특성 분석 서비스까지 양산 R&D 원스톱 솔루션 제공이 가능한 R&D Foundry 사업의 첫 발자국이다”라며 “반도체 중고장비를 활용해 다양한 테스트 웨이퍼를 생산하고, 전기적 분석을 통한 장비, 소재의 성능 평가로 세계 반도체 R&D 생태계에 꼭 필요한 회사가 되겠다”라고 포부를 밝혔다.

지난해 7월에 완공된 서플러스글로벌의 반도체 장비 클러스터에는 세계적인 반도체 기업들의 입주가 예정돼 있으며 이들 기업들과 협력을 통해 한국 반도체 관련 기업들에게 연구 개발, 교육 훈련 등의 다양한 솔루션을 제공할 예정이다.