(주)나노코리아, 광학식 ITO패턴 검사 현미경 개발 투명전극 패턴 검사 가능한 현미경 '눈길'
정대상 2016-09-09 16:49:11

 

 

측정, 광학기기 등을 공급하고 있는 (주)나노코리아(이하 나노코리아)가 2016 국제자동화정밀기기전(KOFAS 2016)에서 3차원 측정기 및 투명전극 패턴 검사용 현미경 등을 소개했다.

그중에서도 특히 동사가 이번에 공개한 투명전극 패턴 검사용 현미경은 세계 최초로 개발된 광학식 스캔 방식의 검사장비로서 국내 특허를 획득한 제품이다. 광학식 ITO패턴 검사 장비로서는 세계 최초이며, 우수한 성능은 물론 빠른 검사 속도로 인해 제조 공정의 불량 분석 및 검사에 적합해 품질 관리 부서 및 생산 부서에 매우 유용한 장비이다. 

 

 

 

일반적인 다층구조의 TSP(터치 센서 모듈)를 검사할 때, 가시광 영역의 빛을 이용한 광학 현미경의 패턴 검사는 보호필름, OCA(접착필름), PET의 두께 및 재질 성분에 의한 빛의 산란, 굴절, 흡수 등에 의해 투명전극인 ITO 패턴을 검사하는데 한계가 있었다. 하지만 이 솔루션은 제조 전 공정 및 개발 부서에서 적극 활용이 가능하며, Bonder, Laminating 및 인쇄 공정의 Align용 모듈로 부착해 정확한 작업을 수행할 수 있고, 소/중/대형 필름의 정밀 검사가 가능해 다양한 어플리케이션으로 응용될 수 있다.

일반적인 광학 현미경 수준의 가격을 실현해 유저의 부담을 줄였고, 내부의 모든 유닛들은 일체형 모듈로 설계되어 사후관리가 용이하며, 조작이 간단해 작업 현장에 즉시 적용이 가능하다. 

이 밖에도 나노코리아는 비전 메트로놀로지 시스템 및 VDMIS의 3차원 측정기 솔루션 등을 소개해 참관객들의 이목을 집중시켯다. 

 

 

 

 

한편 2016 국제자동화정밀기기전은 지난 9월 6일(화)부터 9일(금)까지 나흘간의 일정으로 일산 킨텍스에서 개최됐다. '자동화, 스마트를 입다!'라는 슬로건 아래 개최된 이번 전시회는 자동화기기의 핵심제품인 모션컨트롤, 각종 센서 및 제어기기를 비롯해 산업용 로봇, 측정기기, 네트워크 시스템, 설계 및 공정해석프로그램, 3D프린터, 드론 등 최첨단 기술 및 제품이 전시됐으며, 우리나라를 비롯해 독일, 대만, 미국, 중국 등 18개국, 297개사가 참가했다. 세부전시회는 ▲Smart Factory Automation/모션콘트롤전 ▲금속가공기기/금형전 ▲포장/물류기기전 ▲유공압/펌프전 ▲제어계측/시험검사기기전 ▲발전플랜트/에너지/환경전 ▲부품/소재전 ▲IT융합/3D프린팅전 ▲드론특별전 등 9개 전문관과 우수 개발제품으로 꾸며진 △우수자본재제품전 등으로 구성됐다.

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