다이애나 니쏘넨 메모리얼 최우수 논문 수상 / 사진. 리가쿠

리가쿠 홀딩스 그룹사인 리가쿠가 3D 플래시 메모리 결함 검출의 혁신적인 비파괴 기술로 ‘다이애나 니쏘넨 메모리얼 최우수 논문상’을 수상했다. 이 기술은 초고해상도 엑스레이 현미경을 사용해 나노 단위 구조를 비파괴적으로 시각화하는 데 성공했다.

다이애나 니쏘넨 메모리얼 최우수 논문상은 SPIE 첨단 리소그래피와 패터닝 컨퍼런스에서 측정, 검사 및 공정 제어 분야에서 가장 뛰어난 논문을 발표한 팀에게 수여되는 권위 있는 상이다. 이 컨퍼런스는 반도체 제조에 사용되는 리소그래피 기술의 최신 연구 결과를 공유하는 자리다.

3D 플래시 메모리 생산 현장에서는 내장된 금속 구조와 메모리 홀의 형태를 검사하고 측정하는 데 어려움이 있었다. 리가쿠 연구팀은 이러한 문제를 해결하기 위해 기존 광학 현미경보다 검출 한계가 1/10 이하인 엑스레이를 사용해 초고해상도를 달성했다. 이 기술은 나노 단위의 미세 구조를 드러낼 뿐만 아니라, 실리콘 기판 위에 형성된 소자를 비파괴적으로 관찰할 수 있다.

한편, 논문의 저자인 엑스레이 연구소 오모테 카즈히코 총괄 매니저는 “이 기술이 적용된 장비를 도입하면 3D 플래시 메모리 생산 현장에서 수율 향상과 생산 공정 최적화를 기대할 수 있다”라며 “리가쿠는 약 2년 안에 이 기술을 상용화하는 것을 목표로 하고 있다”라고 밝혔다.

다이애나 니쏘넨 메모리얼 최우수 논문상 수상은 3D 플래시 메모리 생산 분야에서 엑스레이 기술의 가능성을 보여주는 중요한 사례다. 리가쿠가 개발한 초고해상도 엑스레이 현미경은 3D 플래시 메모리 생산 과정에서 발생할 수 있는 결함을 정확하게 파악하고 수율을 향상시키는 데 기여할 것으로 기대된다.

리가쿠는 앞으로 이 기술을 더욱 발전시켜 다양한 산업 분야에 적용할 계획이다. 배터리 개발 과정에서 전극 재료의 미세 구조를 분석하거나, 신약 개발 과정에서 단백질의 구조를 분석하는 데 활용될 수 있다. 특히, 다층 장치에서 연결 부품의 컨덕턴스 검사 및 측정에 적용 가능하다.

1951년 설립된 리가쿠는 엑스레이 및 열 분석 분야의 첨단 기술을 개발하며 90개 이상의 국가에서 사업을 운영, 9개의 글로벌 사업장에 약 2,000명의 직원을 고용했다. 또한, 산업 및 연구 분석 기관에 솔루션을 제공하는 파트너로서, 해외 매출이 약 70%를 차지하며 일본 내에서 높은 시장 점유율을 유지하고 있다.

한편, 자사는 반도체, 전자 소재, 배터리, 환경, 자원, 에너지, 생명과학 등 다양한 첨단 기술 분야로 사업 영역을 확장하고 있다. ‘세상을 개선하는 새로운 관점을 강화한다’는 목표 아래 지속적인 혁신을 추구하고자 포부를 밝혔다.